| 发明名称 |
Lithography apparatus comprising a mobile lens for producing digital holograms |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2002246118(A1) |
申请公布日期 |
2002.10.15 |
| 申请号 |
AU20020246118 |
申请日期 |
2002.03.28 |
| 申请人 |
TESA SCRIBOS GMBH |
发明人 |
CHRISTOPH DIETRICH;STEFAN STADLER;ROBERT THOMANN;JORN LEIBER;STEFFEN NOEHTE |
| 分类号 |
G02B5/32;G03F7/20;G03H1/08;G11B7/0065;G11B7/09;G11B7/125;G11B7/135;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20;G03F1/08 |
主分类号 |
G02B5/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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