| 发明名称 |
Acceleration assisted particle/gas separation system |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2002250328(A1) |
申请公布日期 |
2002.10.15 |
| 申请号 |
AU20020250328 |
申请日期 |
2002.03.12 |
| 申请人 |
MKS INSTRUMENTS, INC. |
发明人 |
DARREN LIVINGSTON;JAMES MUELLER;YOUFAN GU;PAUL DOZORETZ |
| 分类号 |
B01D45/14;(IPC1-7):B01D45/16 |
主分类号 |
B01D45/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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