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发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR REINIGUNG EINES PLASMAREAKTORS
摘要
申请公布号 AT224584(T) 申请公布日期 2002.10.15
申请号 AT19960308747T 申请日期 1996.12.03
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 YE, YAN;HANAWA, HIROJI;MA, DIANA XIAOBING;YIN, GERALD ZHEYAO
分类号 H05H1/46;H01J37/32;H01L21/00;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
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