| 发明名称 |
ENCAPSULATED MEMS BAND-PASS FILTER FOR INTEGRATED CIRCUITS AND METHOD OF FABRICATED THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG91929(A1) |
申请公布日期 |
2002.10.15 |
| 申请号 |
SG20010003386 |
申请日期 |
2001.06.07 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
KEVIN K CHAN;CHRISTOPHER JHANES;LEATHEN SHI;JAMES L SPEIDELL;JAMES F ZIEGLER |
| 分类号 |
B81B3/00;B81B7/00;B81C1/00;H03D7/00;H03H3/007;H03H9/10;H03H9/24;H03H9/46;H04B1/26;(IPC1-7):H03J3/20 |
主分类号 |
B81B3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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