| 发明名称 |
Method and apparatus for growing submicron group iii nitride structures utilizing hvpe techniques |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2002252566(A1) |
申请公布日期 |
2002.10.15 |
| 申请号 |
AU20020252566 |
申请日期 |
2002.03.28 |
| 申请人 |
TECHNOLOGIES AND DEVICES INTERNATIONAL INC. |
发明人 |
ANDREY E. NIKOLAEV;DENIS V. TSVETKOV;VLADIMIR A. DMITRIEV |
| 分类号 |
C30B25/02;C30B25/08;C30B25/14;C30B25/16;C30B29/40;H01L21/205;(IPC1-7):C30B28/12;C30B28/14 |
主分类号 |
C30B25/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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