| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR CLEANING POLISHING SURFACE OF POLISHER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG91899(A1) |
申请公布日期 |
2002.10.15 |
| 申请号 |
SG20010001063 |
申请日期 |
2001.02.23 |
| 申请人 |
EBARA CORPORATION |
发明人 |
TATSUO INOUE;MITSUNORI KOMATSU |
| 分类号 |
B24B55/06;B24B53/007;B24B55/02;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
B24B55/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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