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发明名称
摘要
申请公布号
JP3333896(B2)
申请公布日期
2002.10.15
申请号
JP19950234956
申请日期
1995.09.13
申请人
发明人
分类号
H01L21/28;H01L21/04;H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/28
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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