发明名称 TRANSVERSAL MODE PIEZOELECTRIC ACTUATOR
摘要
申请公布号 SG91811(A1) 申请公布日期 2002.10.15
申请号 SG19990001297 申请日期 1999.03.13
申请人 DATA STORAGE INSTITUTE;NANYANG TECHNOLOGICAL UNIVERSITY;XIAN JIAOTONG UNIVERSITY;SHANGHAI INSTITUTE OF CERAMICS 发明人 YIN QING RUI;LI GUORONG;CHEN DAREN;HUANG TONY;YAO XI;ZHU WEI GUANG
分类号 H01L41/083;H01L41/09;(IPC1-7):H01L41/083 主分类号 H01L41/083
代理机构 代理人
主权项
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