发明名称 HOLLOW CORE SPINDLE AND SPIN, RINSE, AND DRY MODULE INCLUDING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20020077670(A) 申请公布日期 2002.10.12
申请号 KR1020027007970 申请日期 2002.06.20
申请人 发明人
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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