| 主权项 |
1.一种晶圆覆盖显影机之晶边曝光单元,包括:一晶边曝光步进系统;一光纤,耦接于一步进曝光机之一水银灯灯室与该晶边曝光步进系统之间,以自该水银灯室传送一曝光光源至该晶边曝光步进系统中;一滤光镜,位于该晶边曝光步进系统内,且耦接于该光纤之一端上;以及一照度侦测器,位于该晶边曝光步进系统内且位于该滤光镜下方,以侦测来自该滤光镜之光源照度。2.如申请专利范围第1项所述之晶圆覆盖显影机之晶边曝光单元,其中该水银灯光源之波长系大于365nm。3.如申请专利范围第1项所述之晶圆覆盖显影机之晶边曝光单元,其中该水银灯光源包括I-光源。4.如申请专利范围第1项所述之晶圆覆盖显影机之晶边曝光单元,其中该水银灯光源包括G-光源。5.一种晶边曝光单元,包括:一晶边曝光步进系统;一光纤,耦接于一水银灯灯室与该晶边曝光步进系统之间,以自该水银灯室传送一曝光光源至该晶边曝光步进系统中;一滤光镜,位于该晶边曝光步进系统内,且耦接于该光纤之一端上;以及一照度侦测器,位于该晶边曝光步进系统内且位于该滤光镜下方,以侦测来自该滤光镜之光源照度。6.如申请专利范围第5项所述之晶边曝光单元,其中该晶边曝光单元系位于一晶圆覆盖显影机内。7.如申请专利范围第5项所述之晶边曝光单元,其中该水银灯灯室系位于一步进曝光机内。8.如申请专利范围第5项所述之晶边曝光单元,其中该水银灯光源之波长系高于365nm。9.如申请专利范围第5项所述之晶边曝光单元,其中该水银灯光源包括I-光源。10.如申请专利范围第5项所述之晶边曝光单元,其中该水银灯光源包括G-光源。图式简单说明:第1图所示为习知之晶边曝光单元的示意图。第2图所示为本发明之一较佳实施例于晶圆覆盖显影机与步进曝光机连线下之晶边曝光单元的示意图。 |
