发明名称 打线装置及打线方法
摘要 【课题】在使用复数部摄影机时,使偏置量之测定简化。【解决手段】对以第1摄影机7所摄影之高倍率影像施以缩小处理,与以第2摄影机57所摄影之低倍率影像作比较,来算出高倍率影像之基准点之影像中心标记与低倍率影像之基准点之影像中心标记之间之偏差量。将所算出之偏差量加上于第1摄影机7与工具4之间之偏置量,来算出第2摄影机57与工具4之间之偏置量。故即使是交换工具4之情形亦不需要第2摄影机57与工具4之间的偏置量之再测定。
申请公布号 TW506028 申请公布日期 2002.10.11
申请号 TW090117783 申请日期 2001.07.20
申请人 新川股份有限公司 发明人 菅原 健二
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人 林镒珠 台北市长安东路二段一一二号九楼
主权项 1.一种打线装置,系具备:处理构件,系用以处理打线构件;第1摄影机构,系对既定之图案进行摄影;及第1偏置量算出机构,系根据以前述第1摄影机构所摄影之影像资料,来算出前述处理构件与第1摄影机构之间之摄影机工具偏置量;并且具备:第2摄影机构,系对前述既定之图案进行摄影;及第2偏置量算出机构,系根据以前述第1摄影机构所摄影之第1影像资料,与以前述第2摄影机构所摄影之第2影像资料,来算出前述第1影像资料之基准点与前述第2影像资料之基准点之间之偏差量。2.如申请专利范围第1项之打线装置,其中前述第2偏置量算出机构,系根据前述第1摄影机构之摄影倍率(第1倍率),与前述第2摄影机构之摄影倍率(第2倍率),来算出前述第1影像资料之基准点与前述第2影像资料之基准点之间之偏差量。3.如申请专利范围第2项之打线装置,其中前述第2偏置量算出机构,系藉由第1摄影机构所得之影像资料与藉由第2摄影机构所得之影像资料中,将高倍率侧之影像资料配合低倍率侧之摄影倍率而施以缩小处理,并且与前述低倍率侧之影像资料作比较。4.一种打线方法,系用于打线装置,该打线装置系具备:处理构件,系用以处理打线构件;第1摄影机构,系对既定之图案进行摄影;第2摄影机构,系对前述既定之图案进行摄影;及运算处理装置,系根据以前述第1摄影机构所摄影之影像资料,来算出前述处理构件与前述第1摄影机构之间之偏置量,其特征在于:根据以前述第1摄影机构所摄影之第1影像资料、与以第2摄影机构所摄影之第2影像资料,来算出前述第1影像资料之基准点与前述第2影像之基准点之间之偏差量。5.如申请专利范围第4项之打线方法,系含有:根据前述第1摄影机构之摄影倍率(第1倍率)、与前述第2摄影机构之摄影倍率(第2倍率),来算出前述第1影像资料之基准点与前述第2影像资料之基准点之间之偏差量之步骤。6.如申请专利范围第5项之打线方法,系含有:前述第1影像资料与前述第2影像资料中,将高倍率侧之影像资料配合低倍率侧之摄影倍率而施以缩小处理之步骤;及将缩小处理后之影像资料与前述低倍率侧之影像资料作比较之步骤。图式简单说明:【图1】 系表示本发明之实施形态相关之打线装置要部之立体图。【图2】 系表示实施形态之光学系统及控制系统之方块图。【图3】 系表示高倍率影像之说明图。【图4】 系表示低倍率影像之说明图。【图5】 系表示第1摄影机与工具之间之偏置量之测定行程之说明图。【图6】 系表示控制例之流程图。
地址 日本