主权项 |
1.一种光学件容器,用于容纳由合成石英玻璃所制 成的光学件,包含合成树脂作为基底材质及一涂敷 膜,此涂敷膜是设置在其内表面的整个面积上,且 使作为容器基本材质的合成树脂所释放出来的气 体无法透过。2.根据申请专利范围第1项之容器,其 中该涂敷膜是一无机涂敷膜。3.根据申请专利范 围第1项之容器,其中涂敷膜是一由金属、其氧化 物或氮氧化物所制成的涂敷膜。4.根据申请专利 范围第3项之容器,其中金属是铬。5.根据申请专利 范围第1项之容器,其中该涂敷膜具有不小于100n厚 度。6.根据申请专利范围第1项之容器,其中偶合剂 是被插入在上面形成涂敷膜的区域与涂敷膜之间 。7.根据申请专利范围第1项之容器,其中作为基本 材质的合成树脂至少是选自聚丙烯酸酯、聚苯乙 烯、聚丙烯、聚乙烯、聚碳酸酯及ABS树脂之一样 材质。8.根据申请专利范围第1项之容器,进一步具 有气密结构。9.根据申请专利范围第1项之容器,其 中容纳在容器中的光学件可以在光透射比上可以 在刚放入时与放入后100小时之间有所差异,而相对 于157.6nm波长被限制在1%以下。图式简单说明: 图1是一立体图,显示具有单一结构的光学件用容 器; 图2是一立体图,显示具有多层结构的光学件用容 器;及 图3是一图形,显示关于根据一范例与一比较例(波 长157.6nm)所备制的合成石英基底,其光透射比随时 间改变的情形。 |