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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JP2002299522(A) 申请公布日期 2002.10.11
申请号 JP20020090482 申请日期 2002.03.28
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 IDETA GORO;ISHIZAKI MITSUNORI;KASHIBA YOSHIHIRO
分类号 H01L23/26;H01L21/52;H01L23/20;(IPC1-7):H01L23/26 主分类号 H01L23/26
代理机构 代理人
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