| 发明名称 |
PROCEDE D'ATTAQUE DE NITRURE DE SILICIUM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2775830(B1) |
申请公布日期 |
2002.10.11 |
| 申请号 |
FR19980006530 |
申请日期 |
1998.05.25 |
| 申请人 |
UNITED MICROELECTRONICS CORPORATION |
发明人 |
CHANG YI CHUN;KUO MING SHENG |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/306;H01L21/764;H01L21/28 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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