发明名称 PROCESS FOR PREPARING DATA FOR DIRECT-WRITING BY A CHARGED PARTICLE RAY PROCESS FOR VERIFYING DATA FOR DIRECT-WRITING BY A CHARGED PARTICLE RAY PROCESS FOR DISPLAYING DATA FOR DIRECT-WRITING BY A CHARGED PARTICLE RAY AND EXPOSURE DEVICE
摘要 개구 내에 만들어진 셀 프로젝션(cell projection)의 다수의 패턴은 레지스터에 저장된다. 설계 데이터의 셀은 층간 연산에 의해 레지스터 내에 저장되어 있는 셀 프로젝션과 비교되어, 설계 데이터 내의 셀 중 임의의 한 셀과 일치하는 셀이 레지스터 내에 저장되어 있는 셀 프로젝션의 패턴 중에서 존재하는지를 판정한다. 일치하는 셀이 존재하는 것으로 판정이 주어지는 경우, 상기 일치하는 셀 프로젝션은 직접 기록용 데이터로서 추출되고 출력된다. 일치하는 셀이 존재하지 않는 것으로 판정이 주어지는 경우, 만약 참조 횟수가 소정치를 넘는 셀이 존재하면, 이 셀은 추출되어 새로운 셀 프로젝션로서 등록된다.
申请公布号 KR100355633(B1) 申请公布日期 2002.10.11
申请号 KR19990049175 申请日期 1999.11.08
申请人 닛뽄덴끼 가부시끼가이샤 发明人 야마다야스히사;오가와유조
分类号 H01L21/027;G03F7/20;H01J37/302 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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