| 摘要 |
<p>본 발명의 목적은 기판 또는 박막에 손상을 주지 않고 박막으로 코팅된 기판을 막 형성 장치 밖으로 이송할 수 있고 박막으로 코팅된 기판을 지지하기 위한 기구 및 방법을 제공하는 것이다. 지지 기구에는 스테이지, 축 부재, 및 지지핀이 제공된다. 기판이 수평한 상태로 유지되는 스테이지 상에 위치될 때 스테이지가 스테이지의 기판 지지면이 실질적으로 수직하게 되는 막 형성 위치까지 리프트되도록 축 부재가 회전된다. 막 형성 위치에서 막 형성 공정이 수행된 후에 액츄에이터는 스테이지에 제공된 지지핀을 이동시키도록 구동된다. 따라서, 기판에서의 균열 및 칩뿐만 아니라 박막의 박리도 거의 완전하게 방지될 수 있다.</p> |
