发明名称 Verfahren und Vorrichtung zum Ätzen
摘要
申请公布号 DE69807571(D1) 申请公布日期 2002.10.10
申请号 DE19986007571 申请日期 1998.04.02
申请人 RECHERCHE ET DEVELOPPEMENT GROUPE COCKERILL SAMBRE, LIEGE 发明人 VANDEN BRANDE, PIERRE;WEYMEERSCH, ALAIN
分类号 B08B7/00;C23G5/00;H01J37/34;(IPC1-7):C23G5/00 主分类号 B08B7/00
代理机构 代理人
主权项
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