| 发明名称 |
Strömungsüberwachung eines Prozessgases für eine Halbleiterscheibenbehandlungsanlage, Vorrichtung und Verfahren dafür |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69232759(D1) |
申请公布日期 |
2002.10.10 |
| 申请号 |
DE19926032759 |
申请日期 |
1992.02.20 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
FREERKS, FRED W.;MUH, RICHARD C. |
| 分类号 |
C23C14/54;C30B25/14;C30B25/16;G01F1/00;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/00;B32B5/30 |
主分类号 |
C23C14/54 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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