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Den Gegenstand der Erfindung bildet eine Vorrichtung zur Erzeugung ultrareinen Wassers, bei der die Probleme, die sich aus Verunreinigungen ergeben, die nach dem Austausch von Reinigungseinheiten erzeugt werden, verringert sind. Eine Ultraviolettoxidationseinheit (1), eine Ionenaustauschharzkassette (2) und ein Ultrafilterungsfilm (3) sind in dieser Reihenfolge in Richtung der Strömung des reinen Wassers vorgesehen. Das ultrareine Wasser, das durch den Ultrafilterungsfilm (3) strömt, wird an einen Verwendungspunkt geliefert. Stromabseitig vom Ultrafilterungsfilm (3) ist vom Reinwasser-Zufuhrweg ein Abzweigweg abgezweigt. In den Abzweigweg ist ein Meßgerät (M1) für die Konzentration gelösten Sauerstoffs in dem ultrareinen Wasser, das durch den Ultrafilterungsfilm (3) gegangen ist, eingefügt. Der Abzweigweg ist mit einer Oxidationsmittel-Zerlegungseinheit (11) verbunden. Die in dem durch den Abzweigweg strömenden ultrareinen Wasser enthaltenen Oxidationsmittel werden in der Oxidationsmittel-Zerlegungseinheit (11) sämtlich in gelösten Sauerstoff umgewandelt.
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