Positiv arbeitende Resistzusammensetzungen des chemischen Verstärkungstyps

摘要

Eine positiv arbeitende Resistzusammensetzung des chemischen Verstärkungstyps mit gut ausgewogener Auflösung und Empfindlichkeit, die minimale Schrumpfung durch Bestrahlen mit Elektronenstrahlen von SEM erleidet und ein Harz umfasst, das eine von einem ungesättigten Monomer der folgenden Formel (I) abgeleitete Polymerisationseinheit aufweist und das selbst in Alkali unlöslich ist, aber durch Wirkung einer Säure alkalilöslich wird; und ein säurebildendes Mittel: DOLLAR F1 in der R¶1¶ und R¶2¶ jeweils unabhängig ein Wasserstoffatom oder eine Methylgruppe darstellen, wird bereitgestellt.