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发明名称 Substrat-Zuführungsmodul und System aus Substrat-Zuführungsmodul und Arbeitsstation
摘要
申请公布号 DE10053232(C2) 申请公布日期 2002.10.10
申请号 DE20001053232 申请日期 2000.10.26
申请人 LEICA MICROSYSTEMS JENA GMBH 发明人 BIRKNER, ANDREAS;HILTAWSKI, KNUT;URBAN, KARSTEN;WIENECKE, JOACHIM
分类号 H01L21/677;B65G49/07;H01L21/00;(IPC1-7):B65G49/07;H01L21/68 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
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