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发明名称 Methode zum Schutz von Anordnungen gegen durch chemisch-mechanisches Polieren verursachte Fehler
摘要
申请公布号 DE69807621(D1) 申请公布日期 2002.10.10
申请号 DE19986007621 申请日期 1998.06.26
申请人 SIEMENS AG;INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK 发明人 LEVY, MAX G.;FIEGL, BERNHARD;BERGNER, WOLFGANG;GOTH, GEORGE R.;PARRIES, PAUL;SENDELBACH, MATTHEW J.;WANG, TING-HAO;WILLE, WILLIAM C.;WITTMANN, JUERGEN
分类号 H01L21/302;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/3105;H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/310;H01L21/321 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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