| 发明名称 |
BEFESTIGTER SiC-WÜRFEL UND VERFAHREN ZUR BEFESTIGUNG VON SiC-WÜRFELN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69711852(T2) |
申请公布日期 |
2002.10.10 |
| 申请号 |
DE1997611852T |
申请日期 |
1997.01.31 |
| 申请人 |
NORTHROP GRUMMAN CORP., LOS ANGELES |
发明人 |
OSTOP, A.;CHEN, LI-SHU |
| 分类号 |
H01L21/52;H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/58 |
主分类号 |
H01L21/52 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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