| 发明名称 |
Process and apparatus for treating and/or coating a surface of an object |
| 摘要 |
<p>Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Behandeln einer Oberfläche eines Gegenstandes. Um eine reproduzierbare Behandlung sicherzustellen, wird vorgeschlagen, dass die Fläche von einem mit dieser reagierenden Gas beaufschlagt wird, das entlang einer Konvektionsrolle strömt. <IMAGE></p> |
| 申请公布号 |
EP1247587(A2) |
申请公布日期 |
2002.10.09 |
| 申请号 |
EP20020007724 |
申请日期 |
2002.04.05 |
| 申请人 |
RWE SOLAR GMBH |
发明人 |
KUNZ, THOMAS, DR.;VON CAMPE, HILMAR, DR. |
| 分类号 |
H01L21/302;C23C16/455;H01L21/205;H01L31/032;H01L31/04;H01L31/18;(IPC1-7):C23C16/455;B05D7/24;B05D1/30;H01L21/285;H01L21/365;H01L21/443;B05D3/04 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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