Deflection arrangement for separating two particle beams,申请号EP19990122581-传众专利搜索

发明名称	Deflection arrangement for separating two particle beams
摘要
申请公布号	EP1100111(B1)	申请公布日期	2002.10.09
申请号	EP19990122581	申请日期	1999.11.12
申请人	ADVANTEST CORPORATION	发明人	FROSIEN, JUERGEN, DR.
分类号	G01N23/225;H01J37/05;H01J37/244;H01J37/147;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/28	主分类号	G01N23/225
代理机构		代理人
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