| 发明名称 |
MICROLITHOGRAPHIC REDUCTION PROJECTION CATADIOPTRIC OBJECTIVE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1247132(A2) |
申请公布日期 |
2002.10.09 |
| 申请号 |
EP20000990025 |
申请日期 |
2000.12.23 |
| 申请人 |
CARL ZEISS SMT AG;ZEISS STIFTUNG |
发明人 |
SHAFER, DAVID, R. |
| 分类号 |
G02B17/08;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G02B17/08 |
主分类号 |
G02B17/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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