发明名称 等离子显示器的不对称阻隔壁结构的制作方法
摘要 一种等离子显示器的不对称阻隔壁结构的制作方法,包括于一阻隔壁材料层上形成第一、二和三底部图案层以及第一、二和三层间图案层,第一层间图案层左侧对齐第一底部图案层的上方,第二层间图案层右侧对齐第二底部图案层上方,第三层间图案层左右对齐第三底部图案层的上方。形成第一和二顶部图案层,第一顶部图案层左侧对齐第一层间图案层上方,该第二顶部图案层右侧对齐第三层间图案层上方。进行喷砂工艺,将未被覆盖的阻隔壁材料去除,直至使部分介电层表面曝露。最后进行剥离工艺。
申请公布号 CN1373491A 申请公布日期 2002.10.09
申请号 CN01108981.4 申请日期 2001.02.28
申请人 达碁科技股份有限公司 发明人 林建和;周众望
分类号 H01J9/00 主分类号 H01J9/00
代理机构 北京市柳沈律师事务所 代理人 陶凤波
主权项 1.一种等离子显示器(Plasma Display Panel,PDP)的不对称阻隔壁结构的制作方法,其包括下列步骤:(a)提供一基板,其包括多个电极,定义形成于该基底表面上;一介电层,覆盖住该多个电极与该基底表面;以及一阻隔壁材料层,形成于该介电层表面上;(b)于该阻隔壁材料层上定义形成多组底部图案层,其中每一组底部图案层包括宽度相同且等距排列的一第一底部图案层、一第二底部图案层以及一第三底部图案层;(c)分别于该多组底部图案层表面上定义形成多组层间图案层,其中每一组层间图案层包括一第一层间图案层、一第二层间图案层以及一第三层间图案层,该第一层间图案层左侧对齐设置于该第一底部图案层的上方而使该第一底部图案层的右侧部分曝露出来,该第二层间图案层右侧对齐设置于该第二底部图案层的上方而使该第二底部图案层的左侧部分曝露出来,该第三层间图案层左右对齐设置于该第三底部图案层的上方;(d)分别于该多组层间图案层表面上定义形成多组顶部图案层,其中每一组顶部图案层包括一第一顶部图案层以及一第二顶部图案层,该第一顶部图案层左侧对齐设置于该第一层间图案层的上方而使该第一层间图案层的右侧部分曝露出来,该第二顶部图案层右侧对齐设置于该第三层间图案层的上方而使该第三层间图案层的左侧部分曝露出来;(e)进行一喷砂(sandblasting)工艺,将未被该多组底部图案层、该多组层间图案层以及该多组顶部图案层所覆盖的阻隔壁材料去除,直至使部份的该介电层表面曝露出来;以及(f)进行一剥离工艺,将该多组底部图案层、该多组层间图案层以及该多组顶部图案层完全去除,而存留的该阻隔壁材料层构成多组不对称阻隔壁结构。
地址 台湾省新竹市科学工业园区