| 摘要 |
본 발명은 공조장치 및 상기 공조장치에 대한 공조방법에 관한 것으로서, 상기 공조장치는, 클린룸, 공기 정화섹션, 냉각섹션 및 공기 혼합섹션을 구비하고 있다. 상기 공기 정화섹션은 공기를 정화하여 클린룸에 정화된 공기로서 공급해 준다. 상기 냉각섹션은 다수의 냉각유닛과 다수의 비냉각유닛을 포함한다. 상기 다수의 냉각유닛은 클린룸으로부터의 공기를 냉각하여 냉각된 공기로서 내보낸다. 다수의 비냉각유닛은 클린룸으로부터의 공기를 냉각하지 아니하고 비냉각된 공기로서 내보낸다. 냉각된 공기량 및 비냉각된 공기량 각각은 공조장치에서 발생된 열량을 보충하도록 결정되어, 냉각섹션을 경유하는 공기의 압력손실을 최소로 감소시킨다. 상기 공기 혼합섹션은 냉각된 공기와 비냉각된 공기를 혼합하여 공기 정화섹션에 제공한다. 상기 정화된 공기는 클린룸, 냉각섹션 및 공기 혼합섹션을 경유하여 공기 정화섹션까지 순환한다. |
