| 发明名称 |
GAS CLUSTER ION BEAM LOW MASS ION FILTER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1247434(A2) |
申请公布日期 |
2002.10.09 |
| 申请号 |
EP20000992624 |
申请日期 |
2000.12.05 |
| 申请人 |
EPION CORPORATION |
发明人 |
TORTI, RICHARD P.;DYKSTRA, JERALD P. |
| 分类号 |
H01J37/05;H01J37/305;H01J49/04;H05H7/04;(IPC1-7):H05H3/00;H01J37/30 |
主分类号 |
H01J37/05 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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