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发明名称
Multilayer dielectric stack and method
摘要
申请公布号
EP1124262(A3)
申请公布日期
2002.10.09
申请号
EP20010301136
申请日期
2001.02.08
申请人
SHARP KABUSHIKI KAISHA
发明人
MA, YANJUN;ONO, YOSHI
分类号
H01L29/78;B82B1/00;H01L21/28;H01L21/335;H01L21/336;H01L21/8246;H01L27/105;H01L29/51;(IPC1-7):H01L29/51
主分类号
H01L29/78
代理机构
代理人
主权项
地址
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