发明名称 Multilayer dielectric stack and method
摘要
申请公布号 EP1124262(A3) 申请公布日期 2002.10.09
申请号 EP20010301136 申请日期 2001.02.08
申请人 SHARP KABUSHIKI KAISHA 发明人 MA, YANJUN;ONO, YOSHI
分类号 H01L29/78;B82B1/00;H01L21/28;H01L21/335;H01L21/336;H01L21/8246;H01L27/105;H01L29/51;(IPC1-7):H01L29/51 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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