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发明名称 ANTI-REFLECTIVE COATING PROCESS AND APPARATUS
摘要
申请公布号 EP1246706(A2) 申请公布日期 2002.10.09
申请号 EP20010903025 申请日期 2001.01.11
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES NORTH AMERICA CORP.;INFINEON TECHNOLOGIES RICHMOND LLP 发明人 ROBERTS, WILLIAM R.;STROBL, MARLENE
分类号 B05D1/34;G03F7/09;G03F7/16;H01L21/027;(IPC1-7):B05D1/34 主分类号 B05D1/34
代理机构 代理人
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