| 发明名称 |
Method and device for vibration control |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2002306892(A1) |
申请公布日期 |
2002.10.08 |
| 申请号 |
AU20020306892 |
申请日期 |
2002.03.25 |
| 申请人 |
CYMER, INC. |
发明人 |
HUCKLEBERRY B. DORN;BARUCH PLETNER;RICHARD PERKINS;MORDECHAY KARPEL;LEONARD LUBLIN |
| 分类号 |
H01L21/68;F16F;G03F7/20;G05B19/19;G06F19/00;H01L21/027;(IPC1-7):G06F19/00 |
主分类号 |
H01L21/68 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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