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发明名称 Vertical integration of active devices with passive semiconductor waveguides
摘要
申请公布号 AU2002233094(A1) 申请公布日期 2002.10.08
申请号 AU20020233094 申请日期 2002.02.18
申请人 METROPHOTONICS INC. 发明人 VALERY I. TOLSTIKHIN
分类号 G02B6/12;H01L31/105;(IPC1-7):G02B6/12;G02F1/01;H01L31/00 主分类号 G02B6/12
代理机构 代理人
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