| 发明名称 |
Beam processing apparatus |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
AU2002239025(A1) |
申请公布日期 |
2002.10.08 |
| 申请号 |
AU20020239025 |
申请日期 |
2002.03.22 |
| 申请人 |
EBARA CORPORATION |
发明人 |
HIROKUNI HIYAMA;KAZUO YAMAUCHI;KATSUNORI ICHIKI;SEIJI SAMUKAWA |
| 分类号 |
H05H1/46;B01J19/08;C23C14/32;H01J37/08;H01J37/30;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/08 |
主分类号 |
H05H1/46 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
