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发明名称 Method for shaping laminar piezoelectric actuators and sensors and related device.
摘要
申请公布号 AU2002244543(A1) 申请公布日期 2002.10.08
申请号 AU20020244543 申请日期 2002.03.06
申请人 MICROMEGA DYNAMICS S.A. 发明人 ANDRE PREUMONT
分类号 B06B1/06;H01L41/047;(IPC1-7):H01L41/047 主分类号 B06B1/06
代理机构 代理人
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