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发明名称
摘要
申请公布号	JP3332257(B2)	申请公布日期	2002.10.07
申请号	JP19930027406	申请日期	1993.01.23
申请人		发明人
分类号	C23C16/46;C23C16/52;(IPC1-7):C23C16/52	主分类号	C23C16/46
代理机构		代理人
主权项
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