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发明名称 FLOATING UNIT
摘要
申请公布号 JP2002289670(A) 申请公布日期 2002.10.04
申请号 JP20010092210 申请日期 2001.03.28
申请人 HAYASHI TAKEHIDE;DAIICHI SHISETSU KOGYO KK 发明人 HAYASHI TAKEHIDE
分类号 G12B5/00;B65G49/06;B65G49/07;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 G12B5/00
代理机构 代理人
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