固态电容器及其制造方法

摘要

本申请涉及固态电容器领域。本发明特别涉及一种在衬底上制造多个电容器的改进方法。根据本发明的一个方面,提供一种制造固态电容器的方法,所述方法包括:提供导电衬底,所述衬底具有通过衬底形成的多个小孔;形成多个多孔体,所述多孔体包括在衬底上的阀作用材料,使每个多孔体的一部分容纳在相关联的小孔中;在多孔体的自由表面上形成电气绝缘层;在施加到多孔体的电气绝缘层上形成导电阴极层;以及提供阴极端子手段,所述阴极端子手段在容纳在小孔中的每个经涂覆的多孔体的暴露下侧表面上,提供阳极端子手段,所述阳极端子手段在邻近小孔的衬底的下侧表面上,阳极端子形成与衬底材料的电接触,而阴极端子形成与阴极层的电接触,以及把衬底分割成独立的电容器单元,每个独立的电容器单元包括容纳在衬底的小孔限定部分中的多孔体。

主权项

1.一种制造固态电容器的方法，所述方法包括：提供通过其形成有多个孔径的导电衬底；形成多个多孔体，包括衬底上的阀作用材料，使每个多孔体的一部分容纳在相关联的孔径中；在多孔体的自由表面上形成电绝缘层；在施加到多孔体的电绝缘层上形成导电阴极层；以及在容纳在孔径中的每个经涂覆的多孔体的暴露下侧表面上提供阴极端子装置，在邻近孔径的衬底的下侧表面上提供阳极端子装置，阳极端子形成与衬底材料的电接触，而阴极端子形成与阴极层的电接触，以及把衬底分割成各个电容器单元，每个单元包括容纳在衬底的孔径限定部分中的多孔体。