多晶硅、其生产方法及生产装置

摘要

内部具有气泡、表观密度为2.20g/cm³以下的带气泡多晶硅。该硅在破碎时微细粒子的发生非常少,而且可容易粉碎。这样的硅通过在氢的存在下,使含氢熔融的硅的液滴在0.2～3秒的时间内自然落下,使之冷却到液滴中封闭有氢气泡的状态而制得。这样的硅在具有以下结构的装置内制得,即在筒状容器中进行硅的析出、熔融、氯硅烷类的供给管被插到筒状容器内的硅熔融区,在筒状容器与氯硅烷类的供给管的间隙中供给密封气体。

主权项

1.一种带气泡多晶硅，其特征在于在内部有气泡，且表观察度为2.20g/cm3以下。