发明名称 惯性温度控制系统和方法
摘要 本发明提供了一种惯性温度控制系统和方法,用于使坯体温度在两个温度之间变化,从而平滑地到达结束温度,而基本上没有温度过调节或振荡。将设置点温度输入给温度控制算法,该设置点温度以物理上可达到的速率加速或减速。
申请公布号 CN1372175A 申请公布日期 2002.10.02
申请号 CN02108085.2 申请日期 2002.02.06
申请人 ASML美国公司 发明人 艾伦·L.·斯塔纳
分类号 G05D23/19;G05D23/22 主分类号 G05D23/19
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人 付建军
主权项 1.一种使用温度控制算法将坯体温度从开始设置点温度变化到结束设置点温度的方法,其中该坯体装在温度控制加热炉的加热腔中,其特征在于:所述加热腔包含一个或多个可控加热元件,和一个或多个温度传感设备;设置点温度从所述开始温度向所述结束温度以有限的速率加速,直到到达规定的最大斜率为止;所述设置点温度基本上保持在所述最大斜率上,直到接近所述结束温度为止;所述设置点温度从所述最大斜率以有限的速率减速到所述结束温度;所述温度控制算法基本上保持所述坯体的温度与所述设置点温度一致。
地址 美国加利福尼亚州