摘要 |
<p>Die Erfindung bezieht sich auf ein Mikrorelais mit neuem mechanischem Aufbau, bei dem die Bewegungsrichtung eines bewegbaren Kontaktstücks (1) im wesentlichen senkrecht zu der elektrostatischen Antriebskraft eines Antriebskondensators (4, 5) liegt. Dadurch können mit kleinen Versorgungsspannungen relativ große Kontaktkräfte und hohe Spannungsfestigkeiten im geöffneten Zustand realisiert werden. <IMAGE></p> |