发明名称 HERSTELLUNG VON GALLIUMNITRID-SCHICHTEN MITTELS LATERALEM KRISTALLWACHSTUM
摘要
申请公布号 DE1138063(T1) 申请公布日期 2002.10.02
申请号 DE19990967152T 申请日期 1999.11.23
申请人 NORTH CAROLINA STATE UNIVERSITY, RALEIGH 发明人 LINTHICUM, J.;GEHRKE, THOMAS;THOMSOM, B.;CARLSON, P.;RAJAGOPAL, PRADEEP;DAVIS, F.
分类号 C30B29/38;C30B25/02;H01L21/20;H01L21/205;H01L33/00;H01S5/323;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 C30B29/38
代理机构 代理人
主权项
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