| 主权项 |
1.一种元件定持装置,包括:基板;中空状护垫防护构件,设置在前述基板上;护垫销,插在前述护垫防护构件上,且可在轴向方向上移动,在其上设有贯通孔;护垫,设置在前述护垫销的前端,其上设有与护垫销的贯通孔相通联的贯通孔;以及蛇腹护垫,设置在前述基板上,且其上设有与护垫销的贯通孔相通联的贯通孔而且可在轴向上伸缩;在前述蛇腹护垫的贯通孔、前述护垫销的贯通孔与前述护垫的贯通孔上施加负压力时,前述护垫可对元件进行吸附与定持。2.如申请专利范围第1项所述之元件定持装置,其中当前述负压力停止施加于其上时,前述护垫的前端较前述护垫防护构件之前端突出。3.如申请专利范围第1项所述之元件定持装置,其中前述护垫、前述护垫销、以及前述基板由导电性材料组成。4.如申请专利范围第1项所述之元件定持装置,其中前述护垫防护构件由导电性材料所组成,当施加前述之负压力时,前述元件系与护垫防护构件的前端接触。5.如申请专利范围第1项所述之元件定持装置,其中前述护垫销包括停止回转机构。6.一种元件定持装置,包括:基板;中空状护垫防护构件,设置在前述基板上;护垫销,插在前述护垫防护构件上,且可在轴向方向上移动,在其上设有贯通孔;护垫,设置在前述护垫销的前端,其上设有与护垫销的贯通孔相通联的贯通孔;弹性体,设在前述基板与护垫销中间,且护垫销设置于其前端;以及封密体,设置在前述护垫销的底部,且形成气密室;在前述气密室、前述护垫销的贯通孔与前述护垫的贯通孔上施加负压力时,前述护垫可对元件进行吸附与定持。7.如申请专利范围第6项所述之元件定持装置,其中当前述负压力停止施加于其上时,前述护垫的前端可较前述护垫防护构件之前端突出。8.如申请专利范围第6项所述之元件定持装置,其中前述护垫、前述护垫销、以及前述基板由导电性材料组成。9.如申请专利范围第6项所述之元件定持装置,其中前述护垫防护构件由导电性材料所组成,当施加前述之负压力时,前述元件系与护垫防护构件的前端接触。10.如申请专利范围第6项所述之元件定持装置,其中前述护垫销包括停止回转机构。图式简单说明:图1为表示本发明中的元件定持装置的实施形态之分解立体图;图2为图1中所示之元件定持装置由下方观之的立体图;图3为说明图1中所示之元件定持装置之作用的剖面图;图4为说明图1中所示之元件定持装置之作用的剖面图;图5为表示本发明中的元件定持装置之另一实施形态的剖面图;以及图6为说明图5中所示之元件定持装置之作用的剖面图。 |
