| 主权项 |
1.一种基板处理装置,其特征为具备有:要保持基板来旋转的保持、旋转机构;从前述所保持之基板上供应所定之处理液的液(体)供应机构;沿着基板周围配置成可升降且配设通气口于下方之内侧杯状物;沿着前述内侧杯状物所配置之外侧杯状物;配设于前述外侧杯状物之内壁,而导引出旋转之基板离心力所飞散之气氛(气体环境)至外侧杯状物之内壁下力的第1导件;以藉前述通气口来导引由前述第1导件所导引之气氛至前述内侧杯状物内的第2导件;及要排气前述内侧杯状物的排气机构。2.如申请专利范围第1项之基板处理装置,其中更具备有配设于前述内侧杯状物之内壁,而要导引由旋转之基板离心力所飞散之气体环境至内侧杯状物之内壁下方的第3导件。3.如申请专利范围第1项之基板处理装置,其中更具有,用于回收在前述内侧杯状物所回收之液体用之第1回收部,及用于回收在前述外侧杯状物所回收之液体用之第2回收部。4.如申请专利范围第1项之基板处理装置,其中前述第1导件乃与前述外侧杯状物之内壁形成45左右之角度,且使从前述外侧杯状物之内壁上方朝下方倾斜之板状构件,沿着前述外侧杯状物内周并隔着断定间隔所配设者。5.如申请专利范围第4项之基板处理装置,其中前述外侧杯状物系由基部和前述第1导件,以及对于前述基部可装卸之装卸部所构成。6.如申请专利范围第4项之基板处理装置,其中前述第1导件乃被分割成具有相邻之复数前述板状构件的复数部件(block),且前述各部件乃形成与前述外侧杯状物之间可装卸。7.如申请专利范围第1项之基板处理装置,其中更具藉前述液体供应机构来供应冲洗(洗净)液于前述第1导件的机构。8.如申请专利范围第1项之基板处理装置,其中更具备朝向前述所保持之基板背面供应冲洗液之同时,供应冲洗液于前述第1导件的背面冲洗机构。9.如申请专利范围第1项之基板处理装置,其中更具备要成一体驱动升降前述内侧杯状物及外侧杯状物的升降驱动机构。10.如申请专利范围第9项之基板处理装置,其中更具备以因应于由前述保持、旋转机构所进行之基板转数来控制升降前述内侧杯状物和外侧杯状物的控制部。11.如申请专利范围第1项之基板处理装置,其中当由前述液体供应机构供应液体于基板时,基板会经常被收容于前述内侧杯状物内。12.一种基板处理装置,其特征为具备有:要保持基板来旋转之保持、旋转机构;从前述所保持之基板上供应所定之处理用液体的液体供应机构;沿着前述所保持之基板周围所配设之杯状物;配设于前述杯状物之内壁而导引由旋转之基板离心力所飞散之气体环境至杯状物之内壁下方的导件;及要洗净前述导件之洗净机构。13.如申请专利范围第12项之基板处理装置,其中前述导件乃与前述杯状物之内壁形成45左右之角度,且使从前述杯状物之内壁上方朝下方倾斜之板状构件,沿着前述杯状物内周并隔着所定间隔所配设者。14.如申请专利范围第12项之基板处理装置,其中前述洗净机构乃藉前述液体供应机构来供应冲洗液于前述导件者。15.如申请专利范围第12项之基板处理装置,其中前述洗净机构乃朝向前述所保持之基板背面供应冲洗液之同时,要供应冲洗液于前述导件的背面冲洗机构。16.一种基板处理装置,其特征为:具备有:要保持基板来旋转之保持、旋转机构;从前述所保持之基板上供应所定之处理用液体的液体供应机构;沿着前述所保持之基板周围所配设之杯状物;及配设于前述杯状物之内壁而导引由旋转之基板离心力所飞散之气体环境至杯状物之内壁下方的导件,而前述杯状物系由基部和前述导件,以及对于前述基部可装卸之装卸部所构成。17.一种基板处理装置,其特征为:具备有:要保持基板来旋转之保持、旋转机构;从前述所保持之基板上供应所定之处理液用的液体的液体供应机构;沿着前述所保持之基板周围所配设之杯状物;及配设于前述杯状物之内壁而导引由旋转之基板离心力所飞散之气体环境至杯状物之内壁下方的导件,而前述导件乃与前述杯状物内壁形成45左右之角度,且使从前述杯状物内壁上方朝下方倾斜之板状构件以沿着前述杯状物之内周并以所定间隔来配置者,再者,前述导件乃被分割成具有成相邻之复数的前述板状构件的复数部件(block),且前述各部件形成能与前述杯状物之间进行装卸者。图式简单说明:图1系显示有关本发明之一实施形态的涂布显像处理系统之平面图。图2系显示图1所示之涂布显像处理系统的处理步骤之流程图。图3系有关本发明之一实施形态的显像处理装置之正面图。图4系图3所示之显像处理装置的平面图。图5系图3所示之显像处理装置的部分放大斜视(立体)图(其中之1)。图6系图3所示之显像处理装置的部分放大斜视图(其中之2)。图7系用于说明图3所示之显像处理装置的动作用之概略正面图(其中之1)。图8系用于说明图3所示之显像处理装置的动作用之概略正面图(其中之2)。图9系有关本发明之其他实施形态的显像处理装置之概略正面图。图10系有关本发明之另一实施形态的显像处理装置之概略正面图。图11系有关本发明之再另一实施形态的显像处理装置之概略正面图。图12系显示本发明之杯状物的其他结构例之图。图13系显示本发明之杯状物的另一结构例之图。图14系显示本发明之杯状物的再另一结构例之图。 |
