| 主权项 |
1.一种光学式位置偏移检测装置,系用以光学检测 测定标记(在第1标记上形成第2标记而构成)之前述 第1标记与前述第2标记的重叠位置偏移,其特征在 于,包含: 照明光学系统,以照明前述测定标记; 成像光学系统,以将来自前述测定标记之反射光加 以聚光,使前述测定标记之像成像; 摄影装置,系拍摄以前述成像光学系统成像之前述 测定标记的像; 影像处理装置,系处理藉前述摄影装置所得之影像 信号以测定前述第1标记与前述第2标记的重叠位 置偏移;以及 视野区域调整机构,系调整前述摄影装置之用来拍 摄前述测定标记之像之视野区域。2.如申请专利 范围第1项之光学式位置偏移检测装置,其中,前述 视野区域调整机构系由设置在前述照明光学系统 的视野光圈,与调整前述视野光圈之位置的视野光 圈位置调整机构,以及调整前述摄影装置之位置的 摄影位置调整机构所构成; 前述视野光圈与前述摄影装置之摄影面系配置在 光学共轭位置,以根据前述视野光圈位置调整机构 之前述视野光圈之位置调整,藉前述摄影位置调整 机构来进行前述摄影装置之位置调整。3.如申请 专利范围第1或2项之光学式位置偏移检测装置,其 中,前述视野区域调整机构,系根据在摄影装置之 视野区域内使L/S标记像成像时的前述L/S标记像之 非对称性之聚焦特性曲线,来调整视野区域。4.如 申请专利范围第3项之光学式位置偏移检测装置, 其中,前述视野区域调整机构,系以在摄影装置之 视野区域内使L/S标记像成像时的前述L/S标记像之 非对称性之聚焦特性曲线,具有相对视野中心成对 称之特性的方式,来调整视野区域。图式简单说明 : 图1,系显示本发明之光学式位置偏移检测装置之 构成的概略图。 图2(A)、(B)系显示上述光学式位置检测所使用之测 定标记的俯视图及截面图。 图3(A)、(B)系显示将上述测定标记旋转0度及180度 之位置的俯视图。 图4(A)-(C)系显示为进行视野区域调整所使用之L/S 标记的俯视图及截面图、与显示L/S标记像之影像 信号强度分布的图。 图5系显示L/S标记像全体之QZ曲线的图。 图6(A)-(C)系显示L/S标记像中,左、中央及右区域之 QZ曲线的图。 图7(A)-(C)系显示L/S标记像中,左、中央及右区域之 QZ曲线的图。 |
