发明名称 |
PROCESS FOR PRODUCTION OF MONOSILANE (SIH4) AND GERMANIUM HYDRIDE (GEH4) |
摘要 |
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申请公布号 |
US3577220(A) |
申请公布日期 |
1971.05.04 |
申请号 |
USD3577220 |
申请日期 |
1968.10.29 |
申请人 |
TATSUO KURATOMI;YOSHIFUMI YATSURUGI |
发明人 |
TATSUO KURATOMI;YOSHIFUMI YATSURUGI |
分类号 |
C01B6/06;C01B33/04;(IPC1-7):C01B33/04;C22B41/00 |
主分类号 |
C01B6/06 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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