发明名称 PROCESS FOR PRODUCTION OF MONOSILANE (SIH4) AND GERMANIUM HYDRIDE (GEH4)
摘要
申请公布号 US3577220(A) 申请公布日期 1971.05.04
申请号 USD3577220 申请日期 1968.10.29
申请人 TATSUO KURATOMI;YOSHIFUMI YATSURUGI 发明人 TATSUO KURATOMI;YOSHIFUMI YATSURUGI
分类号 C01B6/06;C01B33/04;(IPC1-7):C01B33/04;C22B41/00 主分类号 C01B6/06
代理机构 代理人
主权项
地址