| 摘要 |
1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야 본 발명은 표면 검사 장치 및 그 방법에 관한 것임. 2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제 본 발명은 피검사체 표면의 명도가 비균일한 상태 또는 피검사체의 표면에 무늬가 있는 상태에서도 얼룩이나 이물질 등을 검출할 수 있는 표면 검사 장치 및 그 방법과 상기 방법을 실현시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체를 제공하는데 그 목적이 있음. 3. 발명의 해결방법의 요지 본 발명은, 피검사체의 표면 영상을 획득하기 위한 영상 획득 수단; 및 획득된 피검사체의 표면 영상에 대한 명도 변화 크기와 명도 변화 방향을 이용하여 얼룩이나 이물질 등의 대칭성을 강조하여 상기 얼룩이나 이물질 등을 검출하기 위한 제어 수단을 포함한다. 4. 발명의 중요한 용도 본 발명은 피검사체의 표면 검사 등에 이용됨. |
