发明名称 Belichtungsapparat und -verfahren
摘要
申请公布号 DE69623096(D1) 申请公布日期 2002.09.26
申请号 DE19966023096 申请日期 1996.11.01
申请人 SONY CORP., TOKIO/TOKYO 发明人 AKI, YUICHI;INAGAKI, MINORU;YOKOMIZO, KANJI
分类号 G11B7/00;G03F7/20;G11B7/004;G11B7/125;G11B7/135;G11B7/26;(IPC1-7):G11B7/26;G11B23/00 主分类号 G11B7/00
代理机构 代理人
主权项
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