Method of manufacturing a drug delivery system formed microelectromechanical device
摘要
<p>본 발명은 반도체 미세기전소자 제조공정에 의한 약물주입 시스템의 제조 방법에 관한 것으로, 실리콘 웨이퍼를 기판으로 사용하여 표면 미세기전소자 공정을 사용하여 약물주입 시스템을 구성하는 감지 센서, 약물 주입기, 유량 감지기와 이들의 기능을 제어하는 제어기를 각각 또는 동시에 반도체 집적회로를 사용하여 형성시켜 인체 주입형 미소 약물 주입기의 제작이 가능하도록 하는 미소기전소자형 약물주입 시스템의 제조 방법이 제시된다.</p>
