Positiv-Fotoresist-Zusammensetzung

摘要

Die Zusammensetzung schließt (A) ein Alkali-lösliches Harz, (B) einen Chinondiazidester einer durch die folgende Formel dargestellten Verbindung: DOLLAR F1 und (C) eine durch die folgende Formel dargestellte Verbindung ein: DOLLAR F2 Diese Zusammensetzung ist eine Positiv-Fotoresist-Zusammensetzung, die ausgezeichnet in Empfindlichkeit und Auflösung ist und weniger Schrumpfung verursacht.